测量精度 6.7µm 的快照式传感器，针对各种 微小电子元器件 
● 适用于连接器和引脚、引线检测、表面平 整度和支架检测等 
● 全视野下实现6Hz的扫描频率 
● XY方向分辨率至6.7μm 
● Z方向重复性至0.2μm